FFU过滤单元的整体设计
    FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，FFU过滤单元可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一

    该机组设计整体灵活，便于与专用型吊顶骨架以及其他一些合适的骨架配合使用。当过滤器采用刀边型框架时，这种机组也可用于液槽密封吊顶骨架，根据设计的规格，他可轻而易举配合任何吊顶骨架，达到洁净等级要求。外框可选用铝质或不锈钢，各具特色。采用这种机组，可以为洁净室输送高质量的空气，而且空气流通好。FFU过滤单元适合用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其他对空气中污染有严格控制要求的地方。

    一般万级无尘室所用的高效过滤器，它能对空气中粒径为0.3um的微粒子过滤效率达到99.99%，出风风速0.4m/s，*大不能有超过20KG以上的外力作用于过滤器上，以免破坏过滤器组织架构。